تحليل میدان‎های کوپله الکتریکی-مکانیکی عملگر MEMS شانه‌ای (Comb Drive MEMS Actuators)

تحليل میدان‎های کوپله الکتریکی-مکانیکی عملگر MEMS شانه‌ای (Comb Drive MEMS Actuators)
تحليل میدان‎های کوپله الکتریکی-مکانیکی عملگر MEMS شانه‌ای (Comb Drive MEMS Actuators)

عملگرهای شانه‌ای از دو الکترود تشکیل شده‌اند که اعمال اختلاف پتانسیل، موجب پیدایش نیروی جاذبه الکترواستاتیک بین الکترودها و حرکت آن‌ها می‌شود. در واقع با اعمال ولتاژ، تیرهای شانه‌ای به صورت خازن‌هایی موازی با یکدیگر عمل کرده و در نهایت موجب جابه‌جایی در راستای موازی با محور تیرهای شانه­ای می­شوند. در این تحلیل از روش‌های مختلف آنالیز میدان­های کوپله ترتیبی، آنالیز کوپله مستقیم و المان­های کاهش مرتبه یافته استفاده شده است و نتایج آن‌ها با یکدیگر مقایسه شده است.

سایر پروژه های انجام شده