تحليل میدانهای کوپله الکتریکی-مکانیکی عملگر MEMS شانهای (Comb Drive MEMS Actuators)
عملگرهای شانهای از دو الکترود تشکیل شدهاند که اعمال اختلاف پتانسیل، موجب پیدایش نیروی جاذبه الکترواستاتیک بین الکترودها و حرکت آنها میشود. در واقع با اعمال ولتاژ، تیرهای شانهای به صورت خازنهایی موازی با یکدیگر عمل کرده و در نهایت موجب جابهجایی در راستای موازی با محور تیرهای شانهای میشوند. در این تحلیل از روشهای مختلف آنالیز میدانهای کوپله ترتیبی، آنالیز کوپله مستقیم و المانهای کاهش مرتبه یافته استفاده شده است و نتایج آنها با یکدیگر مقایسه شده است.