نانوگریپر برای اسمبلی و جابجایی قطعات در مقیاس نانو و میکرو کاربرد دارد. مکانیزم تحریک این قطعه MEMS، ترکیبی از مکانیزم دندهشانهای (Comb Drive) الکترواستاتیک و مکانیزم انبساط حرارتی میباشد. در این پروژه، نیرو و بازه جابجایی گریپر، ولتاژ و توان مورد نیاز و همچنین پایداری الکترواستاتیک (جلوگیری از پدیده pull in) توسط نرمافزار ANSYS مورد تحلیل قرار گرفته است.
کلمات کلیدی:
تحلیل سازهای نانوگریپر، تحلیل کوپله حرارتی- الکتریکی، ریز فناوری
Mechanical APDL، Nano-Gripper،, Comb Drive MEMS، Pull-in
