بررسی رفتار یک نمونه سوییچ تحت میدان‌های کوپله الکتریکی و مکانیکی
امروزه فناوری MEMS کاربرد گستردهای در میکروسوییچ ها، شتاب‌سنجها، سنسورهای فشار، میکرواپتیک‌ها و غیره پیدا کرده است. سیستمهای ارتباطی حرکت مداومی به سمت کوچکتر شدن و حذف پارازیت دارند. سوئیچهای RF MEMS نیز برای طراحی ریز مدارها کاربرد گستردهای دارند. در این تحلیل، رفتار یک نمونه سوییچ تحت میدان‌های کوپله الکتریکی و مکانیکی بررسی گردیده است. همچنین پارامترهای مختلف هندسه سوییچ، برای دستیابی به حداقل ولتاژ تحریک و حداکثر نیروی بازگرداننده و همچنین حداکثر نیروی تماسی بهینه‌سازی قرار شده و در نهایت مقاومت اهمی سوییچ بدست آمده است.
