یکی از روش‌های پردازش و ایجاد تصاویر مادون قرمز، استفاده از مجموعه‌ای از قطعات MEMS است. این قطعات از دو بازو و یک صفحه تشکیل شده است. با تابش اشعه مادون قرمز بر صفحه این قطعه که از لایه‌ای از جنس SiO2 پوشیده شده است، بخش زیادی از انرژی آن جذب میشود. حرارت ایجاد شده به بازوهای دو جنسی منتقل و باعث خم شدن آن‌ها و تغییر وضعیت صفحه میشود. این تغییر وضعیت، موجب تغییر ظرفیت خازنی بین صفحه و صفحه زمین و ارسال سیگنال میشود. وقتی تعدادی از این قطعات در کنار هم قرار داده می‌شوند می‌توان از آن‌ها برای ایجاد تصویر مادون قرمز استفاده کرد. در این تحلیل قطعه MEMS با استفاده از میدان‌های کوپله الکترومکانیکال و ترمومکانیکال مورد بررسی قرار گرفته است.
کلمات کلیدی:
ریز حسگر، مادون قرمز، دوربین
Mechanical APDL، MEMS, Capacitive Sensing، IR imaging، Focal Plane Array (FPA) imaging،
