عملگرهای شانهای از دو الکترود تشکیل شده‌اند که اعمال اختلاف پتانسیل، موجب پیدایش نیروی جاذبه الکترواستاتیک بین الکترودها و حرکت آن‌ها می‌شود. در واقع با اعمال ولتاژ، تیرهای شانهای به صورت خازن‌هایی موازی با یکدیگر عمل کرده و در نهایت موجب جابه‌جایی در راستای موازی با محور تیرهای شانهای میشوند. در این تحلیل از روش‌های مختلف آنالیز میدانهای کوپله ترتیبی، آنالیز کوپله مستقیم و المانهای کاهش مرتبه یافته استفاده شده است و نتایج آن‌ها با یکدیگر مقایسه شده است.
کلمات کلیدی:
تحلیل قطعه MEMS شانهای، تحریک الکترواستاتیک
ANSYS Workbench Mechanical، MEMS ، Pull-in Voltage ،Comb Drive Actuator, Sequential Coupled-Field Analysis (SCFA), Direct Coupled-Field Analysis (DCFA), Reduced Order Model (ROM)
