در این تحلیل با استفاده از میدان‌های کوپله حرارتی- الکتریکی، یک سوییچ ولتاژ پایین هیبرید (الکترواستاتیک و الکتروترمال) مورد بررسی قرار گرفته است. با استفاده از آنالیزهای مودال، الکترواستاتیک، حرارتی و دینامیک، پارامترهای طراحی سوییچ بررسی شده‌اند.
کلمات کلیدی:
تحلیل سوییچ MEMS با تحريكالكترواستاتيكي و حرارتي
Mechanical APDL، Micro Electro-Mechanical Systems، MEMS for high-frequency application، Modal،Transient
